ЛЕКТОРИ:
Доц. д-р инж.Красимир Денишев, еmail: khd@tu-sofia.bg и доц. д-р инж. Мария Александрова, еmail: m_aleksandrova@tu-sofia.bg
След завършване на курса студентите трябва да познават функционалната структура на микросистемите, физическите принципи за изготвяне на сензори за регистриране на магнитно поле, температура, механични въздействия, излъчвания, параметри на флуидите, както и различни видове актуатори за въздействие и промяна на изброените физични величини.
Разглеждат се специфични теми, пряко свързани с профила на обучаваната специалност като същност и структура на микросистемите, тяхната сензорна, преобразуваща и актуаторна част. Основно внимание е отделено на основните принципи, ефекти и конструкции, използувани за изготвянето на сензорни елементи за магнитни, механични, термични, светлинни, флуидни и др. величини. Подробно се разглеждат основните и специфичните технологични процеси, характерни за микросистемите. Изяснени са понятия и процедури като микромеханика, микроинженерство, микроелектромеханична система и др.
ПРЕПОРЪЧИТЕЛНА ЛИТЕРАТУРА:
1. Таков Т., В. Минчев, Полупроводникови датчици, София, Техника, 1986;
2. Къртунов Ст., В. Тодорова, Микросистемна техника, Габрово, Университетско издателство, 2002;
3. Roumenin Ch., Solid State Magnetic Sensors, Elsevier Science, Amsterdam, 1994;
4. Видеков, Александрова, Андреев, Денишев, Ръководство по технология на МЕМС, Ту-София, 2011.;
5. Middelhoek S., S. A. Audet, Silicon Sensors. London u.a.: Academic Press 1989;
6. Sze S. M.; Semiconductor Sensors. New York u.a.; John Wiley & Sons 1994.