ЛЕКТОР:
доц. д-р Мария Александрова, e-mail: m_aleksandrova@tu-sofia.bg
Целта на обучението по "Материалознание в микроелектрониката" е студентите да получат знания за свойствата и приложението на най-актуалните материали в областта на микроелектрониката. В края на обучението си студентът ще познава най-актуалните материали в областта на микросхемите и микросистемите; ще е запознат със съвременните методи за извършване на качествен и количествен анализ на материалите; може да окачествява полупроводникови, диелектрични и проводящи материали в обемен (носители) и тънскослоен вид; познава методите за измерване на техните електрофизични и оптични свойства.
Разглеждат се основните методи за получаване на чисти и свръхчисти вещества, използвани в микроелектрониката, както и методите за получаване на монокристални и поликристални материали. Изучават се подробно материалите, намиращи приложение като полупроводникови и керамични планарни носители (подложки), както и специфични за микроелектрониката тънкослойни диелектрични, резистивни и проводящи материали. Студентите се запознават с нови материали, намиращи приложение в микроелектрониката, а именно пиезоелектрически, термоелектрически, фотоелектрически, магниторезистивни, свръхпроводящи, електролуминесцентни, херметизационни, наноматериали и др.
ПРЕПОРЪЧИТЕЛНА ЛИТЕРАТУРА:
1. Александрова, Добриков, Видеков, "Материалознание в микроелектрониката" - учебник, ТУ-София , 2015.
2. Ръсовска M.M., В.Х. Видеков и др. “Ръководство за лабораторни упражнения по материалознание в микроелектрониката” , ТУ-София, 2003.